[发明专利]光学系统、照明模块及自动光学检验系统在审
| 申请号： | 201910184243.8 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110261387A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | N·约阿夫;D·哈诺伊;B·费尔德曼;T·赫维特 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘媛媛 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本申请案提供一种光学系统、照明模块及自动光学检验系统。所述光学系统包括扫描反射器模块，其包括：半椭圆反射器，其限定初级及次级焦点位置；及旋转反射器，其定位在所述半椭圆反射器的所述初级焦点位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 自动光学检验 焦点位置 照明模块 半椭圆 反射器 反射器模块 旋转反射器 申请案 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过检测从结构的照明区域返回的光自动光学检验所述结构的光学系统，所述光学系统包括扫描反射器模块，所述扫描反射器模块包括：半椭圆反射器，其限定初级及次级焦点位置；及旋转反射器，其定位在所述半椭圆反射器的所述初级焦点位置处；其中所述旋转反射器经配置用于接收照明光束且引导其照明定位在所述次级焦点位置处的所述结构的特定区域；其中所述旋转反射器经配置用于选择性地在第一及第二操作模式中的任一者中操作以分别用于将所述照明光束直接反射到所述结构的所述特定区域上及将所述照明光束反射到沿着所述半椭圆路径布置的所述反射元件中的一者上。
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