[发明专利]一种电热性能动态检测系统与检测方法

摘要

本发明公开了一种电热性能动态检测系统与检测方法，所述系统包括样品台、激励信号源、激励信号放大器、锁相放大器、热探针、原子力显微镜控制器和探针控制器。所述方法步骤为：建立探针控制器输出的响应信号与热探针温度之间的关系曲线；对样品施加交流电压进行动态激励；热探针及探针控制器对待测样品进行实时动态检测，得到动态响应信号；锁相放大器对动态响应信号进行实时处理，获得其振幅值；原子力显微镜控制器结合标定的关系曲线与动态响应信号的振幅值，分析获得样品的电热性能参数。本发明能够实现弱电热响应的精确测量，并实现了实时侦测材料电热响应动态变化，以及实时检测材料微尺度电热性能空间分布的目的。