[发明专利]一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机

摘要

本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机，整体由套筒、上盖、上板、下板、下盖、第一驱动组块、第二驱动组块、第三驱动组块、密封圈、冷却套组成；上盖的下端面与上板的上端面之间安装有第一驱动组块，上板的下端面与下板的上端面之间安装有第二驱动组块，下板的下端面与下盖的上端面之间安装有第三驱动组块；所述第一驱动组块包括三个第一压电振子，第二驱动组块包括两个第二压电振子，第三驱动组块包括一个第三压电振子。特色及优势：通过各驱动组块内腔体个数递减的方式实现气体累积增压，在工作上能同时实现大流量和大压力，且整体由压电振子、单向阀以及盖板组成结构简单，成本低。

主权项

1.一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机，其特征在于：整体由套筒、上盖、上板、下板、下盖、第一驱动组块、第二驱动组块、第三驱动组块、密封圈、冷却套组成；所述上盖、上板、下板和下盖从上至下依次连接；所述上盖与上板之间安装有第一驱动组块；所述第一驱动组块包含三个气体压缩单元，三个气体压缩单元在上盖和上板之间均匀分布，气体压缩单元均由第一压电振子、第一单向阀、上腔以及密封圈构成；所述上板朝向三组第一压电振子方向均设置有上腔；所述上板与下板之间安装有第二驱动组块；所述第二驱动组块包含两个气体压缩单元，两个气体压缩单元在上板与下板之间均匀分布，气体压缩单元均由第二压电振子、中腔、第二单向阀以及密封圈构成；所述下板朝向两组第二压电振子方向均设置有中腔；所述下板与下盖之间安装有第三驱动组块；所述第三驱动组块包含一个气体压缩单元，气体压缩单元由第三压电振子、下腔、第三单向阀以及密封圈构成；所述下盖朝向第三压电振子方向设置有下腔；所述上盖开设有气体入口，上盖与上板内部开设有第一气流通道；所述第一气流通道一端连通气体入口，另一端与三组上腔连接；所述第一气流通道与三组上腔之间均设置有第一单向阀；所述上板与下板内部开设有第二气流通道；所述第二气流通道一端连通三组上腔，另一端与两组中腔连接；所述第二通道与两组中腔之间均设置有第二单向阀；所述下板与下盖内部开设有第三气流通道；所述第三气流通道一端连通两组中腔，另一端连接下腔；所述第三通道与下腔之间设置有第三单向阀；所述下盖内部开设有气体出口；所述气体出口与下腔之间设置有出口阀；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子均由金属基板和压电陶瓷片同心粘接而成；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子朝向腔体一侧均配合安装有密封圈；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的个数依次减少，所对应上腔、中腔、下腔的个数也随之依次减少，即气体压缩单元数量沿气体流动方向依次减少。