[发明专利]一种具有光学微腔结构的钙钛矿光电探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及属于可见光探测技术领域，具体公开了一种具有光学微腔结构的钙钛矿光电探测器及其制备方法，包括自下而上依次设置的玻璃基板、透明导电电极层、光反射层、空穴传输层、钙钛矿敏感层、电子传输层、空穴阻挡层和金属电极层，所述钙钛矿敏感层包括化学式为ABX₃的典型卤素钙钛矿材料、化学式为A¹_xA²_1‑xBM，0＜X＜1的一价阳离子替代的钙钛矿材料、化学式为ABM¹_xM²_3‑x，0＜X＜3的卤素替代固溶体钙钛矿材料、化学式为AB¹_xB²_1‑xM，0＜X＜1的金属替代固溶体钙钛矿材料及二维钙钛矿材料中的多种，所述钙钛矿敏感层的厚度为50‑5000nm。通过钙钛矿敏感层材料的设置及钙钛矿薄膜做厚实，实现电荷窄化吸收效应，能够有效地窄化探测器的探测半波峰宽，提高探测器探测性能。

主权项

1.一种具有光学微腔结构的钙钛矿光电探测器，其特征在于，包括自下而上依次设置的玻璃基板、透明导电电极层(1)、光反射层(2)、空穴传输层(3)、钙钛矿敏感层(4)、电子传输层(5)、空穴阻挡层(6)和金属电极层(7)，所述钙钛矿敏感层(4)包括化学式为ABX3的典型卤素钙钛矿材料、化学式为A1xA21‑xBM，0＜X＜1的一价阳离子替代的钙钛矿材料、化学式为ABM1xM23‑x，0＜X＜3的卤素替代固溶体钙钛矿材料、化学式为AB1xB21‑xM，0＜X＜1的金属替代固溶体钙钛矿材料及二维钙钛矿材料中的多种，所述钙钛矿敏感层(4)的厚度为50‑5000nm。