[发明专利]基于DMD的光刻与打印一体化设备及其构建方法

摘要

本发明基于DMD的光刻与打印一体化设备及其构建方法，属于光学实验辅助结构设备领域，包括DMD空间光调制器、385nmLED光源、管透镜I、半透半反镜、管透镜II、CCD相机、45°反射镜、投影物镜、手动大行程竖直位移台、旋转平台、中空三维压电平台、样品台、打印盒、二维压电平台、转接架、Z方向位移机械杆；本发明可以实现平面光刻和三维打印双重功能，并且提供了系统的构建方法，并且系统结构搭建简单，灵活性高，降低掩模成本，缩短光刻周期，可设计性强，并且能够达到亚微米级的分辨率；提高了工作效率缩短工作周期，避免了由于光刻溶液表面张力引起的结构失真问题；在制作任意三维连续复杂微结构方面提供了新的方法。

主权项

1.基于DMD的光刻与打印一体化设备，其特征是：包括DMD空间光调制器(1)、385nmLED光源(2)、管透镜I(3)、半透半反镜(4)、管透镜II(5)、CCD相机(6)、45°反射镜(7)、投影物镜(8)、手动大行程竖直位移台(9)、旋转平台(10)、中空三维压电平台(11)、样品台(12)、打印盒(13)、二维压电平台(14)、转接架(15)及Z方向位移机械杆(16)；所述DMD空间光调制器(1)通过DMD芯片装配架设置在光学平台上；所述385nmLED光源(2)通过机械固定架固定在光学平台上，且385nmLED光源(2)通过光纤连接匀光装置，匀光装置的输出端所在直线与DMD空间光调制器(1)上的芯片的空间角为24°；所述管透镜I(3)与半透半反镜(4)设置在光学平台上，且管透镜I(3)、半透半反镜(4)及DMD空间光调制器(1)在同一条直线上，其中管透镜I(3)与DMD空间光调制器(1)的距离为200mm；所述管透镜II(5)及CCD相机(6)均设置在光学平台上，且管透镜II(5)及CCD相机(6)顺次设置在半透半反镜(4)的反射光路上；所述45°反射镜(7)设置在光学平台上，且45°反射镜(7)位于管透镜I(3)与半透半反镜(4)所在的同一条直线上；所述手动大行程竖直位移台(9)设置在光学平台上，其上设置有旋转平台(10)，旋转平台(10)上放置有中空三维压电平台(11)，且中空三维压电平台(11)内部设置有投影物镜(8)，投影物镜(8)设置在45°反射镜(7)竖直上方，且投影物镜(8)的镜头垂直于45°反射镜(7)的反射光路；所述中空三维压电平台(11)上设置有样品台(12)，样品台(12)上设置有打印盒(13)；所述旋转平台(10)及中空三维压电平台(11)上均设置有通孔，使45°反射镜(7)、投影物镜(8)及的镜头之间没有阻拦；所述Z方向位移机械杆(16)设置在光学平台上，且其通过转接架(15)与二维压电平台(14)连接，二维压电平台(14)位于样品台(12)的竖直上方。