[发明专利]一种应力辅助定位纳米加工方法及其制备的纳米结构有效
| 申请号： | 201910190126.2 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109879242B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 佘峻聪;曾妙璇;黄一峰;邓少芝;许宁生;陈军 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应力辅助定位纳米加工方法及其制备的纳米结构，所述应力辅助定位纳米加工方法为，选取核层材料和壳层材料形成核壳结构，对所述核壳结构进行热处理；所述核壳结构的界面处形成非单轴拉应力；控制所述核壳结构的界面的形状从而定位非单轴拉应力最大值的位置；所述非单轴拉应力直接拉断被拉伸侧的表面层，所述非单轴拉应力最大值大于被拉伸侧的材料的拉应力断裂阈值。或者，所述非单轴拉应力最大值小于被拉伸侧的材料的拉应力断裂阈值且处于同一数量级；所述热处理在氧化性气体氛围中进行。本发明提供的应力辅助定位纳米加工方法无需高精度纳米光刻技术即可实现精确的定位纳米加工，加工过程中不会造成污染和结构损伤，能够在已有的微纳结构尤其是直立微纳结构上进行高精度的定位纳米加工，并且具备批量制备能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应力 辅助 定位 纳米 加工 方法 及其 制备 结构 | ||
【主权项】：
1.一种应力辅助定位纳米加工方法，其特征在于，选取核层材料和壳层材料形成核壳结构，对所述核壳结构进行热处理；所述核壳结构的界面处形成非单轴拉应力；控制所述核壳结构的界面的形状从而定位非单轴拉应力最大值的位置；所述非单轴拉应力直接拉断被拉伸侧的表面层，所述非单轴拉应力最大值大于被拉伸侧的材料的拉应力断裂阈值。
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