[发明专利]一种累积压缩式微型空压机

摘要

本发明属微量气体传输与控制领域，具体涉及一种累积压缩式微型空压机。箱体上设有进气孔、带出口腔的孔腔、与出口腔连通的储气室及至少两个体腔组，从左到右各体腔组中所含体腔的数量依次减少；各体腔组中的一个体腔上设有进口腔和出气孔，其它体腔上仅设有通气孔，进出口腔内分别设有进出口阀；压块上设有与体腔组数量相等的导向孔组，导向孔与体腔的直径相等，隔膜经压块压接在箱体上并与体腔形成压缩腔；同一体腔组内的压缩腔并联成压缩腔组，各压缩腔组串联；上盖装在压块上并经导向孔中的压电叠堆将活塞压接在隔膜上；同一压缩腔组中隔膜的变形方向相同，相邻压缩腔组中隔膜的变形方向相反，各压缩腔组对气体进行逐级累积压缩后排入储气室。

主权项

1.一种累积压缩式微型空压机，其特征在于：箱体上设有进气孔、带出口腔的孔腔、与出口腔连通的储气室及至少两个体腔组，从左到右各体腔组中所含体腔的数量依次减少；各体腔组中的一个体腔上设有进口腔和出气孔，其它体腔上仅设有通气孔；进出口腔与其内所安装的单向阀分别构成进口阀和出口阀；压块上设有与体腔组及其所含体腔数量分别相等的导向孔组和导向孔，导向孔与体腔的直径相等，隔膜经压块压接在箱体上，导向孔和体腔对称配置在隔膜上下两侧，隔膜与体腔形成压缩腔；同一体腔组内的压缩腔并联成压缩腔组，各压缩腔组串联；上盖安装在压块上并经置于导向孔中的压电叠堆将活塞压接在隔膜上，活塞为T型结构且其小端与隔膜接触，隔膜为0.1mm、0.2mm和0.3mm厚的铍青铜薄膜时活塞小端与大端的最佳直径比分别为0.79、0.65和0.55；工作中，同一压缩腔组中隔膜的变形方向相同、两相邻压缩腔组中隔膜的变形方向相反，两相邻压缩腔组连通时压缩腔数量多的压缩腔组的容积变化量不小于压缩腔数量少的压缩腔组的容积变化量。