[发明专利]一种传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910192144.4 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110031136B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张威;周浩楠 | 申请（专利权）人： | 北京协同创新研究院;北京智芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 姚正阳;张田勇 |
| 地址： | 100094 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种力传感器及其制备方法，所述力传感器包括MEMS力传感器芯片，所述芯片包括基底，基底的上表面具有凹槽，基底的上表面上设置有压力敏感层；所述压力敏感层包括边框和压力敏感梁；所述边框部分地或完全地围绕凹槽设置，所述压力敏感梁设置于所述凹槽的上方，压力敏感梁的各端部分别与压力敏感层的边框相连；所述压力敏感层的上表面上设置有多个压敏电阻，每个压敏电阻的至少一部分位于所述压力敏感梁上，所述多个压敏电阻连接构成惠斯通电桥。该传感器能够直接检测外部压力，无需媒介，扩大了应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种力传感器，其特征在于，包括MEMS力传感器芯片，所述芯片包括基底，基底的上表面具有凹槽，基底的上表面上设置有压力敏感层；所述压力敏感层包括边框和压力敏感梁；所述边框部分地或完全地围绕凹槽设置，所述压力敏感梁设置于所述凹槽的上方，压力敏感梁的各端部分别与压力敏感层的边框相连；所述压力敏感层的上表面上设置有多个压敏电阻，每个压敏电阻的至少一部分位于所述压力敏感梁上，所述多个压敏电阻连接构成惠斯通电桥。
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