[发明专利]虚拟电阻自动匹配方法

摘要

本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。

主权项

1.一种虚拟电阻自动匹配方法，在向工序投入电阻匹配器之前，上述电阻匹配器与计算装置相连接来执行虚拟匹配，上述电阻匹配器设置于生成高频振荡的射频信号的射频发生器与等离子腔室之间，用于对上述射频发生器的输出端电阻与上述等离子腔室的电阻进行匹配，上述虚拟电阻自动匹配方法的特征在于，包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。