[发明专利]感光性树脂组合物、感光性薄膜、永久抗蚀剂以及永久抗蚀剂的制造方法在审
申请号: | 201910193891.X | 申请日: | 2012-08-09 |
公开(公告)号: | CN110083010A | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 名越俊昌;田中惠生 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 张楠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的感光性薄膜、永久抗蚀剂以及永久抗蚀剂的制造方法,所述感光性树脂组合物含有:(a)成分:酸改性环氧树脂、(b)成分:具有烯键式不饱和基团的光聚合性单体、(c)成分:光聚合引发剂、(d)成分:环氧树脂、以及(e)成分:无机填料,所述(a)成分含有酸改性双酚酚醛清漆型环氧树脂,进而满足规定的条件。 | ||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 永久抗蚀剂 感光性薄膜 酚醛清漆型环氧树脂 环氧树脂 烯键式不饱和基团 酸改性环氧树脂 光聚合性单体 光聚合引发剂 无机填料 酸改性 双酚 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:(a)成分:酸改性环氧树脂、(b)成分:具有烯键式不饱和基团的光聚合性单体、(c)成分:光聚合引发剂、(d)成分:环氧树脂、以及(e)成分:无机填料,其中,所述(a)成分含有酸改性双酚酚醛清漆型环氧树脂,所述感光性树脂组合物用于制造永久抗蚀剂。
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