[发明专利]感光性树脂组合物、感光性薄膜、永久抗蚀剂以及永久抗蚀剂的制造方法在审

专利信息
申请号: 201910193891.X 申请日: 2012-08-09
公开(公告)号: CN110083010A 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 名越俊昌;田中惠生 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 张楠
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的感光性薄膜、永久抗蚀剂以及永久抗蚀剂的制造方法,所述感光性树脂组合物含有:(a)成分:酸改性环氧树脂、(b)成分:具有烯键式不饱和基团的光聚合性单体、(c)成分:光聚合引发剂、(d)成分:环氧树脂、以及(e)成分:无机填料,所述(a)成分含有酸改性双酚酚醛清漆型环氧树脂,进而满足规定的条件。
搜索关键词: 感光性树脂组合物 永久抗蚀剂 感光性薄膜 酚醛清漆型环氧树脂 环氧树脂 烯键式不饱和基团 酸改性环氧树脂 光聚合性单体 光聚合引发剂 无机填料 酸改性 双酚 制造
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:(a)成分:酸改性环氧树脂、(b)成分:具有烯键式不饱和基团的光聚合性单体、(c)成分:光聚合引发剂、(d)成分:环氧树脂、以及(e)成分:无机填料,其中,所述(a)成分含有酸改性双酚酚醛清漆型环氧树脂,所述感光性树脂组合物用于制造永久抗蚀剂。
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