[发明专利]ScAlMgO4 有效
| 申请号： | 201910197077.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110284183B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 宫野谦太郎;柳田直人;领木直矢;旭雄大;信冈政树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种ScAlMgO |
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| 搜索关键词： | scalmgo base sub | ||
【主权项】：
1.一种ScAlMgO4单晶基板，其特征在于，将基板的中心设为坐标(0，0)，且将测定光束的宽度设为1mm×7mm，在用X射线衍射法分别对在x轴方向上以1mm的间隔从(x‑m，0)到(xm，0)和在y轴方向上以1mm的间隔从(0，y‑n)到(0，yn)的坐标位置进行分析时，各所述坐标位置处的摇摆曲线的半峰全宽的最差值小于20秒，其中，m及n是使所述测定光束收敛在不超出基板的范围内的整数。
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