[发明专利]铟砷氮铋、使用该材料的激光器和探测器及制备方法有效
申请号: | 201910198751.1 | 申请日: | 2019-03-15 |
公开(公告)号: | CN109920861B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 芦鹏飞;王凯林;陆瑾;张凡;张丽;王庶民 | 申请(专利权)人: | 诺迪克(余姚)光电产业研究院有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/109;H01L31/18;H01S5/343 |
代理公司: | 北京万思博知识产权代理有限公司 11694 | 代理人: | 柴国伟 |
地址: | 315403 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开了一种铟砷氮铋半导体材料、使用该材料的激光器和探测器及制备方法,涉及半导体光电材料制备领域。所述材料包括:衬底层、缓冲层和铟砷氮铋半导体材料。通过共掺杂方式,在InAs半导体中掺入一定浓度的Bi原子和N原子,可有效调节InAs材料的禁带宽度,实现从近红外到中红外波段的覆盖,应用于光电子器件。Bi原子的掺入可使材料更易生长并更加稳定,N原子的引入可以提高Bi的溶解度。在InAs半导体中同时掺入N原子,Bi原子可以有效调节化合物的能带结构。本申请可采用常规分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种方法进行生长,结构和操作工艺简单,易于控制。 | ||
搜索关键词: | 铟砷氮铋 使用 材料 激光器 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种铟砷氮铋半导体材料,其特征在于,包括:衬底层,为InAs衬底层或辅助衬底层;缓冲层,在所述衬底层上外延生长InAs缓冲层;和铟砷氮铋半导体材料,在所述缓冲层上外延生长铟砷氮铋薄膜和异质结材料,其结构通式为InAs1‑x‑yNxBiy,它是通过在InAs材料中掺入In原子和Bi原子获得。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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