[发明专利]铟砷氮铋、使用该材料的激光器和探测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 201910198751.1 申请日: 2019-03-15
公开(公告)号: CN109920861B 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 芦鹏飞;王凯林;陆瑾;张凡;张丽;王庶民 申请(专利权)人: 诺迪克(余姚)光电产业研究院有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/109;H01L31/18;H01S5/343
代理公司: 北京万思博知识产权代理有限公司 11694 代理人: 柴国伟
地址: 315403 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开了一种铟砷氮铋半导体材料、使用该材料的激光器和探测器及制备方法,涉及半导体光电材料制备领域。所述材料包括:衬底层、缓冲层和铟砷氮铋半导体材料。通过共掺杂方式,在InAs半导体中掺入一定浓度的Bi原子和N原子,可有效调节InAs材料的禁带宽度,实现从近红外到中红外波段的覆盖,应用于光电子器件。Bi原子的掺入可使材料更易生长并更加稳定,N原子的引入可以提高Bi的溶解度。在InAs半导体中同时掺入N原子,Bi原子可以有效调节化合物的能带结构。本申请可采用常规分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种方法进行生长,结构和操作工艺简单,易于控制。
搜索关键词: 铟砷氮铋 使用 材料 激光器 探测器 制备 方法
【主权项】:
1.一种铟砷氮铋半导体材料,其特征在于,包括:衬底层,为InAs衬底层或辅助衬底层;缓冲层,在所述衬底层上外延生长InAs缓冲层;和铟砷氮铋半导体材料,在所述缓冲层上外延生长铟砷氮铋薄膜和异质结材料,其结构通式为InAs1‑x‑yNxBiy,它是通过在InAs材料中掺入In原子和Bi原子获得。
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