[发明专利]等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201910199877.0 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110402009B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 保罗·贝内特 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体发生装置。该装置包括多个等离子体源，每个等离子体源包括经由相应的传输线被电耦接到公共电气端子的相应的天线线圈组件。每条传输线被配置为将射频电功率信号从所述公共电气端子传送到所述相应的天线线圈组件，并且每条传输线的长度是所述射频电功率信号的1/4波长的奇数倍。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体发生装置，包括多个等离子体源，每个等离子体源包括经由相应的传输线被电耦接到公共电气端子的相应的天线线圈组件，每条传输线被配置为将射频电功率信号从所述公共电气端子传送到所述相应的天线线圈组件，其中，每条传输线的长度是所述射频电功率信号的1/4波长的奇数倍。
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