[发明专利]一种多环变直径谐振腔的制备方法

摘要

本发明提供一种多环变直径谐振腔的制备装置及其制备方法，涉及微纳光学器件技术领域，笔头内设有笔芯、笔尖，由于笔尖与笔头内壁之间的溶液在固液接触面的流动特性，避免了挤出胀大现象，熔体被约束在笔尖处，更有利于精准直写，当运动平台变速运动时，笔尖上的熔体锥在基片上直写出直径可变的谐振腔，设有多个笔筒加热器，对笔筒内腔进行分区域温度控制，使笔筒内腔具有合理的温度场，避免输送至笔筒内腔的熔体过早冷却、固化，影响熔体的流动性，设有抽气装置，当笔筒内熔体产生大量废气，控制中心停止装置的直写动作，并打开抽气装置进行排气，将熔体上方的废气迅速排出笔筒后再重新开始直写，保证直写质量。

主权项

1.一种多环变直径谐振腔的制备装置，其特征在于：包括底部带有笔头的笔筒、笔芯、熔体泵、熔体挤出机、气阀、气源、气压传感器、抽气装置、加热器、温度传感器、温控箱、控制中心、运动平台以及基片，所述笔筒的内部设置有分隔块，所述分隔块将笔筒分为气压缓冲腔和熔体腔，分隔块周向均布有若干气体流道，所述气压缓冲腔依次与气阀、气源连通，所述气压传感器设置在笔筒的内壁上，所述抽气装置与气压缓冲腔连通，所述熔体腔依次与熔体泵、熔体挤出机连通，所述笔芯安装于分隔块的底部，所述笔芯与笔筒处于同一轴线且笔尖伸出笔头，所述基片固定于运动平台上，所述基片设置在笔尖的正下方，所述气压传感器、气阀、抽气装置、熔体泵、运动平台分别与控制中心信号连接，所述加热器设置在笔筒的外周，温度传感器设置在笔筒的内壁，所述加热器和温度传感器分别依次与温控箱、控制中心连接。