[发明专利]一种旋转靶材合金及其加工方法有效
| 申请号： | 201910201557.4 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109706345B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 戴登峰;宋振亚;彭孜;闫鸣;金燊超 | 申请（专利权）人： | 绍兴市天龙锡材有限公司 |
| 主分类号： | C22C18/00 | 分类号： | C22C18/00;C22C13/00;C22C30/06;C23C4/08;C23C4/131;C23C14/35 |
| 代理公司： | 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274 | 代理人： | 丁建清 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于低辐射玻璃镀膜技术领域，公开了一种旋转靶材合金及其加工方法，旋转靶材合金由背衬管和靶体两部分组成，靶体部分重量组成为：锌34.5～94％，锡5～60％，镍0.5～2％，锑0.3～1.5％，锆0.2～2％，加工步骤为：上述合金制成直径为1～2.5毫米的线材，然后通过电弧喷涂的工艺在背衬管上制作靶体，最终制成靶材；也可以把合金熔化后通过铸造成型的方法制造靶体，再将靶体与背衬管焊接组装成靶材。本发明在传统锡锌二元合金基础上引入了，锑、镍、铬等元素，最终通过磁控溅射的工艺在玻璃基体与银层之间制作一层介质膜，大幅提高了银层与玻璃基体之间的结合力及连接强度，满足了汽车工业对于低辐射玻璃的工艺性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 合金 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶材合金，由背衬管和靶体两部分组成，其特征在于，靶体部分重量组成为：锌34.5～94％，锡5～60％，镍0.5～2％，锑0.3～1.5％，锆0.2～2％。
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