[发明专利]一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置

摘要

本发明公开了一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置，包括底板、开放式箱体和镀膜箱，开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧，开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆，第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构，开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构，夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部，开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽。本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置，通过设有的打磨机构，能够对工件的表面打磨，减小工件表面的粗糙度，增强抛光工件镀膜后基体表面与薄膜的结合力，通过向清洗槽内注入特殊的清洗剂，利用超声波对油污层进行冲刷破坏。

主权项

1.一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜工艺系统及装置，包括底板(1)、开放式箱体(2)和镀膜箱(3)，其特征在于，所述开放式箱体(2)和镀膜箱(3)分别固定设置在底板(1)顶端的两侧，所述开放式箱体(2)内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆(4)，所述第一电动推杆(4)的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构(5)，所述开放式箱体(2)内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构(6)，所述夹紧机构(6)的一端穿过开放式箱体(2)并置于其外部，所述开放式箱体(2)内腔的底端设置有清洗槽(7)，所述清洗槽(7)的底端设置有防水箱(10)，所述防水箱(10)内设置有推送机构(9)，所述镀膜箱(3)内腔的两侧均设置有用于放置工件的放置机构(8)，所述镀膜箱(3)顶端的一侧设置有真空泵(11)，所述第一电动推杆(4)通过外接第一电推杆开关与外接电源电性连接，所述真空泵(11)通过外接真空开关与外接电源电性连接。