[发明专利]一种基于常温吸附工艺的超纯气体纯化系统及工艺有效
| 申请号： | 201910202263.3 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109775671B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 侯鹏;李文强;韩江江;张文刚;皮山丹;田维峰;李文豪 | 申请（专利权）人： | 大连华邦化学有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/04 | 分类号： | C01B21/04;C01B23/00 |
| 代理公司： | 大连瑞博晟知识产权代理有限公司 21259 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连市高*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及导体芯片制造领域中使用的大宗气体的纯化。一种基于常温吸附工艺的超纯气体纯化系统，包含一备一用两个吸附反应器、相应的切换阀门、相应的管路、再生气加热器、再生气冷却器和控制系统；所述吸附反应器分别装填有两种填料，从原料气的流入侧向流出侧依次填充脱氧剂和镍催化剂。工艺简单，一步法除杂，且镍催化剂的成本远高于所述脱氧剂的成本，脱氧剂对氧、水、二氧化碳的吸附容量大于镍催化剂，原料气首先经过脱氧剂的纯化，将原料中的ppm级的杂质先行脱除到10ppb，之后再经过镍催化剂，镍催化剂只需要装填用于脱除10ppb杂质所需的吸附量即可，因此可以减少高成本的镍催化剂的装填量，降低纯化成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 常温 吸附 工艺 气体 纯化 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于常温吸附工艺的超纯气体纯化系统，其特征在于：包含一备一用两个吸附反应器、相应的切换阀门、相应的管路、再生气加热器、再生气冷却器和控制系统；所述吸附反应器分别装填有两种填料，从原料气的流入侧向流出侧依次填充脱氧剂和镍催化剂。
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