[发明专利]放膜装置在审
| 申请号： | 201910203996.9 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111716697A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王建勋;谢军 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/02 | 分类号： | B29C63/02;B32B38/10 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种放膜装置，包括送膜滑动座、分膜组件、以及分膜升降驱动组件；分膜升降驱动组件包括分膜连接杆、分膜固定板、分膜升降杆、分膜升降板、以及设于分膜固定板的分膜升降驱动件；分膜组件与分膜升降杆远离分膜升降板的一端相连，分膜升降板与分膜升降驱动件的输出端相连。分膜升降驱动件带动分膜升降板沿分膜升降杆的轴线方向做上升运动，与分膜升降杆的另一端相连的分膜组件随着分膜升降板做同步的上升运动，进而带动分膜组件整体做上升运动，进而将分膜组件上升至一定的高度，使得被分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动，避免了干膜移动时触碰晶圆进而使得晶圆偏离贴膜位置的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东思沃精密机械有限公司，未经广东思沃精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910203996.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种运单查询异常行为检测方法和装置
- 下一篇：一种检测方法和检测设备
