[发明专利]贴膜机

摘要

本发明公开了一种贴膜机，包括贴膜装置、放膜装置、以及切膜装置；贴膜装置包括第一压膜台、第二压膜台、压膜驱动机构；切膜装置包括切割组件、以及移动驱动组件。放膜装置将原料膜的干膜与底膜分离并将干膜输送至第一压膜台与第二压膜台之间的间隙并位于第二压膜台上的晶圆的正上方，压膜驱动机构带动第一压膜台靠近第二压膜台并将干膜与晶圆压紧，压膜驱动机构带动第一压膜台远离第二压膜台，移动驱动组件带动切割组件伸入贴膜加工腔，切割组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得贴覆有干膜的晶圆与干膜的整体分离，进而实现对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜切除。