[发明专利]分层多端口螺旋电感器在审
| 申请号： | 201910205000.8 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109860148A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 来新泉;孙斌;张赟;钟龙杰;王宇恒 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01F17/00;H01F27/28;H01F27/32 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 邵丽丽;王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种分层多端口螺旋电感器，包括衬底、多层绝缘介质层、多层金属布线层和过孔；所述衬底上形成多层绝缘介质层，且每层绝缘介质层上都形成有金属布线层，每层绝缘介质层内都有用于连接上下金属布线层的过孔，金属布线层包括螺旋状的金属线圈以及引出的电感端口，所述金属线圈的中心在同一平面法线上，每层金属布线层中具有多匝螺旋状金属线圈，其中任意两匝螺旋线圈之间形成差分结构；任意相邻两层金属布线层中的金属线圈相互错开，任意相邻三层金属布线层中，中间层金属线圈向线圈中心收缩或者扩张。本发明能够提高单位衬底面积的电感值，提供多个电感端口，降低螺旋电感的寄生电容，进而扩大了螺旋电感器的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 金属布线层 介质层 螺旋电感器 金属线圈 衬底 电感端口 多层绝缘 层绝缘 多端口 分层 电感 法线 螺旋状金属 中间层金属 差分结构 多层金属 寄生电容 螺旋电感 螺旋线圈 线圈中心 布线层 螺旋状 错开 多匝 两层 三层 收缩 应用 | ||
【主权项】：
1.一种分层多端口螺旋电感器，包括衬底(Sub)、多层绝缘介质层(O1～On)、多层金属布线层(M1～Mn)和过孔(C1～Cn)，n≥1；其特征在于，所述衬底上形成多层绝缘介质层，且每层绝缘介质层上都形成有金属布线层；每层绝缘介质层内都有用于连接上下金属布线层的过孔；金属布线层包括具有螺旋状的金属线圈以及引出的电感端口，每层金属布线层的螺旋状金属线圈的中心在同一平面法线上，每一层金属布线层中具有T匝螺旋状金属线圈，其中T为整数且满足T≥1，每一层任意两匝螺旋线圈之间形成差分结构，任意相邻两层金属布线层中的金属线圈相互错开，任意相邻三层金属布线层中，中间层金属线圈向线圈中心收缩或者扩张。
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