[发明专利]基于MATLAB的FIB制备三维原子探针样品过程的模拟方法

摘要

本发明属于FIB加工领域，尤其是涉及一种基于MATLAB的使用聚焦离子束进行三维原子探针样品加工过程的模拟方法。包括，S1：位置标记；S2：第一侧面切削模拟：通过设置样品台旋转角度R1、倾转角度T1和切削深度H1，进行第一侧面切削过程模拟；S3：第二侧面切削模拟：同上进行第二侧面切削过程模拟；S4：样品提取模拟：通过设置样品台的旋转角度R3和倾转角度T3，进行样品提取过程模拟；S5：样品转移模拟；S6：落样模拟；S7：环切模拟。本申请通过MATLAB程序对被检测材料中的目标微观组织结构的空间位置进行标记，并模拟FIB加工过程中样品台的旋转、倾转、平移等动作，实现对FIB加工APT样品的过程模拟和FIB加工参数优化设计，提高FIB加工的目的性及成功率。

主权项

1.一种基于MATLAB的FIB制备三维原子探针样品过程的模拟方法，包括，S1：位置标记：对被检测材料中的目标微观组织结构的空间位置进行标记；S2：第一侧面切削模拟：通过设置样品台旋转角度R₁、倾转角度T₁和切削深度H₁，进行第一侧面切削过程模拟；S3：第二侧面切削模拟：通过设置样品台的旋转角度R₂、倾转角度T₂、平移距离L和切削深度H₂，进行第二侧面切削过程模拟；S4：样品提取模拟：通过设置样品台的旋转角度R₃和倾转角度T3，进行样品提取过程模拟；S5：样品转移模拟：将样品转移至外置单轴旋转设备上，通过设置单轴旋转设备的旋转角度ω，进行样品转移调整过程模拟；S6：落样模拟：通过设置针尖底座平台的倾转角度T₄，进行落样过程模拟；S7：环切模拟：通过设置预期针尖样品的锥度θ和切削深度H₂，进行样品环切过程模拟。