[发明专利]一种清除微粒的装置及方法在审
| 申请号： | 201910205192.2 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109822215A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 朱广志;陈明翔;杨璟;朱加琦;李亮;朱晓;王海林 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/16 | 分类号： | B23K26/16 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清除微粒的装置及方法，第一种结构包括超声波发生器；其中，所述超声波发生器产生竖直向上或者竖直向下的纵波，经工作物件反射形成驻波。第二种结构包括超声波发生器，平板玻璃；其中，超声波发生器产生竖直向下的纵波，由于所述工作物件与超声波发生器满足声波高透条件，透过工作物件的超声波通过平板玻璃反射，在超声波发生器与平板玻璃间形成驻波。本发明将溅射颗粒悬浮于空中，便于有效清除，同时可有效防止微粒回落，提高激光打孔的效率和准确度；且防止了回落微粒对工作物件表面的烧蚀，提高了工作物件的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波发生器 工作物件 平板玻璃 竖直向下 驻波 纵波 反射 回落 有效防止微粒 激光打孔 颗粒悬浮 竖直向上 准确度 声波 超声波 平整度 溅射 烧蚀 | ||
【主权项】：
1.一种清除微粒的装置，其特征在于，包括：超声波发生器；所述超声波发生器用于产生纵波；工作状态下，所述工作物件与超声波发生器平行放置；所述工作物件与所述超声波发生器的高度距离为![]()
用于将所述超声波发生器产生的纵波反射形成驻波；其中，n为大于等于1的整数，λ为纵波波长。
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