[发明专利]一种使用激光切割方式制备的柔性压力传感阵列在审
| 申请号： | 201910206367.1 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109916539A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 吴幸;田希悦;郭丛威 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;B23K26/38 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用激光切割方式制备的柔性压力传感阵列，该柔性传感阵列由数个传感单元并联连接组成，每个传感单元为五层叠加结构，五层叠加结构从下至上分别为衬底膜、列电极、激光切割的镂空压阻膜、行电极和保护膜，所述列电极印刷在衬底膜上，行电极的电极印刷在保护膜上，激光切割的镂空压阻膜夹在印刷有列电极的衬底膜与印刷有行电极的保护膜之间，衬底膜与保护膜被胶粘合；为降低传感单元之间的串扰，传感单元之间的部分压阻膜使用激光切除，传感单元之间保留部分连接使其保持相对位置和整体形状不变。本发明在不增加装配复杂性情况下减少了串扰，解决了串扰和装配复杂性的冲突，同时可应用于实时图形化压力分布显示。 | ||
| 搜索关键词： | 传感单元 保护膜 衬底膜 传感阵列 列电极 行电极 串扰 压阻 激光切割方式 激光切割 柔性压力 镂空 印刷 制备 装配 并联连接 电极印刷 激光切除 实时图形 压力分布 整体形状 胶粘合 膜夹 保留 冲突 应用 | ||
【主权项】：
1.一种使用激光切割方式制备的柔性压力传感阵列，其特征在于，该柔性传感阵列由数个传感单元并联连接组成，每个传感单元为五层叠加结构，五层叠加结构从下至上分别为衬底膜、列电极、激光切割的镂空压阻膜、行电极和保护膜，所述列电极印刷在衬底膜上，行电极的电极印刷在保护膜上，激光切割的镂空压阻膜夹在印刷有列电极的衬底膜与印刷有行电极的保护膜之间，衬底膜与保护膜被胶粘合；其中：所述激光切割的镂空压阻膜的切割过程为：绘制能将压阻膜划分为独立单元且保留部分连接的的切割图形；选择完好的压阻膜；使用激光将压阻膜按照切割图形所示的形状切割，激光定位精度为±0.1mm，激光切割缝隙宽度为0.1mm，激光切割速度为40mm/s，激光切割功率为35w；得到数个独立压阻膜单元，各独立压阻膜单元间相互连接。
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