[发明专利]蒸镀用掩膜板、显示面板及其制备方法在审
| 申请号： | 201910206626.0 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109943808A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 严哲;余威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种蒸镀用掩膜板、显示面板及其制备方法。该蒸镀用掩膜板包括遮挡板，遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，在蒸镀用掩膜板的作业面一侧每个开口与邻近开口之间的遮挡板上刻蚀出隔离层凸起，作业面为蒸镀用掩膜板蒸镀时用于与基板贴合的那一面。本发明实施例中在使用蒸镀用掩膜板蒸镀时，隔离层凸起可以阻挡蒸镀时的发光材料进入其他的像素开口区域，将蒸镀时的发光材料限定在每个开口所对应的像素开口区域范围以内，因此有效减少了相邻像素之间混色的概率，单个像素的发光材料得到集中，提高了显示面板发光效率，降低了显示面板阴影效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 掩膜板 显示面板 发光材料 遮挡板 开口 像素开口 隔离层 作业面 凸起 制备 单个像素 发光效率 基板贴合 相邻像素 阴影效果 有效减少 预设形状 混色 刻蚀 邻近 阻挡 概率 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述蒸镀用掩膜板包括遮挡板，所述遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，在所述蒸镀用掩膜板的作业面一侧每个开口与邻近开口之间的遮挡板上刻蚀出隔离层凸起，所述作业面为所述蒸镀用掩膜板蒸镀时用于与基板贴合的那一面。
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