[发明专利]一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910206657.6 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109888611B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;李佳平;王永进 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/11;H01S5/343 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层下方的空腔。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备纳米梁结构的氮化物微腔，在正向偏压下，获得紫外光波段的激光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 纳米 结构 氮化物 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器，其特征在于，该激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层(1)、u型氮化镓层(2)、n型氮化镓层(3)、量子肼层(4)、p型氮化镓层(5)、设置在所述p型氮化镓层(5)上的p型电极(6)、设置在所述n型氮化镓层(3)边缘的n型电极(7)，所述硅衬底层(1)内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层(2)下方的空腔，激光器设置多个从下至少刻穿u型氮化镓层(2)、n型氮化镓层(3)、量子肼层(4)、p型氮化镓层(5)直至空腔的孔洞，所述n型氮化镓层(3)边缘处上方的量子肼层(4)和p型氮化镓层(5)刻蚀掉，n型电极(7)设置在裸露出的n型氮化镓层(3)上侧面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910206657.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
