[发明专利]一种提高超快激光光束聚焦能力的方法和装置有效
| 申请号： | 201910206674.X | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110018565B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 季凌飞;燕天阳;马瑞;王文豪;林真源 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高超快激光光束聚焦能力的方法和装置，解决了超快激光聚焦过程中因常见自聚焦效应易引起光束发散角增大而导致聚焦光斑大于聚焦理论值的问题。本发明通过超快激光光束的扩展准直以及限制激光边缘能量的方式，消除激光束发散角增大现象，并通过等光程非球面透镜设计得到直径尺寸可到5μm以下的聚焦光斑，为超快激光精细加工，特别是微米尺度精细加工，提供有效保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 激光 光束 聚焦 能力 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种提高超快激光光束聚焦能力的方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤1、对原始激光束进行几何光学优化，得到直径扩展，发散角减小光束的同时，降低激光功率密度，避免光束产生自聚焦效应引起的发散角增大现象；步骤2、根据扩展光束的能量分布，对扩展光束边缘能量进行屏蔽，消除边缘激光诱导自聚焦效应引起的发散角增大现象，同时减小沿激光传播方向上的球差；步骤3、将激光束在等光程非球面透镜条件下聚焦，减小聚焦平面上的像散得到聚焦光斑。
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