[发明专利]一种气敏传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910206689.6 申请日: 2019-03-19
公开(公告)号: CN109870482A 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 马涛;何为;罗标 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭润湘
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种气敏传感器及其制备方法,用于提高气敏传感器的气敏特性,以提高气敏传感器的灵敏度。其中的气敏传感器的制作方法包括:通过聚偏氟乙烯PVDF和聚苯胺PAN,制作具有多个孔洞结构的气体感应材料;在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,其中,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层的同一侧的相对两端,所述气体感应层由所述气体感应材料形成。
搜索关键词: 气敏传感器 气体感应 气体感应材料 第二电极 第一电极 传感器 制备 聚偏氟乙烯PVDF 绝缘基板 孔洞结构 气敏特性 灵敏度 聚苯胺 制作
【主权项】:
1.一种气敏传感器的制作方法,其特征在于,包括:通过聚偏氟乙烯PVDF和聚苯胺PAN,制作具有多个孔洞结构的气体感应材料;在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,其中,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层的同一侧的相对两端,所述气体感应层由所述气体感应材料形成。
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