[发明专利]感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置在审
申请号: | 201910206932.4 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN110320746A | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 松本晃幸;浅冈高英;成子朗人 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/075;G03F7/00;G03F7/09 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 彭雪瑞;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异,且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物,其包含:聚合体成分(A),在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II);以及感放射线性化合物(B)。 | ||
搜索关键词: | 感放射线性组合物 硬化膜 显示元件 显示装置 聚合体 烷氧基硅烷基 感放射线性 马来酰亚胺 耐化学品性 金属配线 放射线 感度 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感放射线性组合物,其特征在于,包含:聚合体成分(A),在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II);以及感放射线性化合物(B)。
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