[发明专利]一种具有枝状电极结构的电容器及制备方法在审
| 申请号： | 201910207664.8 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109830372A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王柯力;王延杰;王家乐;张霖;骆敏舟 | 申请（专利权）人： | 河海大学常州校区 |
| 主分类号： | H01G4/005 | 分类号： | H01G4/005;H01G4/008;C23C18/48;C25D5/00;C23C28/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 严晓彪;董建林 |
| 地址： | 213022 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有枝状电极结构的电容器，包括附着于基体膜两侧的表面电极；若干枝状电极置于基体膜内，其根部与表面电极相连。其枝状电极结构相比于特定微电容器的梳状电极结构，将电极宽度降低为数十纳米，增加了敏感电容相对变化量，提高了传感器性能；相比于现有的微电容器电极结构，大幅增加电极与电介质的接触面积，增加了微电容式传感器的敏感度；由于基体膜材料的柔韧性，该枝状电极结构同样适用于柔性的微电容器。其结构简单，工艺易操作，微电容器的电极结构更加微型化，适用于检测压力、位移、气体浓度等物理量，具有很强的实用性和广泛的适用性，特别是当使用Nafion膜作为基体膜时，可以制成性能优异的湿度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 枝状电极 微电容器 基体膜 电容器 表面电极 电极结构 电极 传感器 电介质 物理量 微型化 湿度传感器 相对变化量 柔韧性 敏感电容 梳状电极 敏感度 微电容 附着 制备 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具有枝状电极结构的电容器，其特征在于，包括附着于基体膜两侧的表面电极；若干枝状电极置于基体膜内，其根部与表面电极相连。
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