[发明专利]一种坩埚组件及长晶炉在审
| 申请号： | 201910208143.4 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109868503A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 夏秋良;范雪峰 | 申请（专利权）人： | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 胡蓉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种坩埚组件及长晶炉，涉及晶体生长设备技术领域。该坩埚组件包括石英坩埚、石墨坩埚以及隔离层，石英坩埚设于石墨坩埚内，隔离层设于石英坩埚与石墨坩埚之间，隔离层用于阻隔石英坩埚与石墨坩埚发生接触反应。该长晶炉包括炉体、用于提拉和旋转籽晶的提拉旋转机构，以及上述的坩埚组件，坩埚组件位于炉体内，长晶炉还包括环设于坩埚组件的石墨坩埚外部的加热器，其中，坩埚组件的石英坩埚内用于容纳原料。该坩埚组件能够降低石墨坩埚的氧化侵蚀速度，进而增加了石墨坩埚的使用寿命，同时降低了单晶硅棒内的碳氧堆积，提高了单晶硅棒的整体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚组件 石墨坩埚 石英坩埚 长晶炉 隔离层 单晶硅棒 提拉 晶体生长设备 加热器 接触反应 使用寿命 旋转机构 氧化侵蚀 环设 炉体 碳氧 籽晶 堆积 阻隔 容纳 体内 外部 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚组件，其特征在于，包括：石英坩埚、石墨坩埚以及隔离层，所述石英坩埚设于所述石墨坩埚内，所述隔离层设于所述石英坩埚与所述石墨坩埚之间，所述隔离层用于阻隔所述石英坩埚与所述石墨坩埚发生接触反应。
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