[发明专利]基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统及方法

摘要

基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统及方法，载物台上方由下至上沿光路依次设置有物镜、线性位移台、分光棱镜、第二透镜和CCD相机，分光棱镜的入射光路上由内向外设置有第一透镜和单色光光源，物镜的外侧套有环形光源，CCD相机和线性位移台的信号输入输出端分别连接计算机。本发明使用干涉物镜测量平面镜，调节载物台至CCD相机图像中干涉条纹为一条以下，使载物台与系统光轴垂直；本发明能够有效去除因样品不规则或杂质而形成的无效像素点；能够去除三维数据中的异常像素点；实现刀尖轮廓中圆弧数据与直线数据的分割；最终能够在单次测量中获取多种几何参数，且提取几何参数不受测量角度的影响，有较好的测量重复性。

主权项

1.一种基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统，包括有用于支撑圆弧刃车刀的载物台(8)，其特征在于，所述载物台(8)上方由下至上沿光路依次设置有物镜(7)、线性位移台(5)、分光棱镜(3)、第二透镜(2)和CCD相机(1)，所述分光棱镜(3)的入射光路上由内向外设置有第一透镜(10)和单色光光源(4)，所述物镜(7)的外侧套有环形光源(6)，所述CCD相机(1)和线性位移台(5)的信号输入输出端分别连接计算机(9)。