[发明专利]等离子体处理设备在审
| 申请号： | 201910211420.7 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110323117A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 沈承辅;成德镛;卢泳辰;李镕祐;任志洙;姜泂模;韩丙勳;李天揆;堀口将人 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 尹淑梅;刘美华 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种等离子体处理设备。所述等离子体处理设备包括：卡盘台，用于支撑晶圆并包括下电极；上电极，设置在卡盘台上；AC电源，将具有不同大小的频率的第一信号至第三信号施加到上电极或下电极；介电环，围绕卡盘台；边缘电极，位于介电环内；以及谐振电路，连接到边缘电极。谐振电路包括：滤波器电路，允许第一信号至第三信号之中的仅第三信号通过；以及串联谐振电路，与滤波器电路串联连接，并具有串联连接且接地的第一线圈和第一可变电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体处理设备 滤波器电路 边缘电极 谐振电路 电极 卡盘台 下电极 介电 串联谐振电路 可变电容器 信号施加 信号通过 接地 晶圆 卡盘 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理设备，所述等离子体处理设备包括：卡盘台，具有专用于支撑位于卡盘台上的基底的上表面，并包括下电极；上电极，设置在卡盘台上方；AC电源，被配置为产生彼此不同的各个频率的第一信号、第二信号和第三信号，并且可操作地连接到上电极或下电极；介电环，在卡盘台周围延伸；边缘电极，设置在介电环内；以及谐振电路，连接到边缘电极，其中，所述谐振电路包括：滤波器电路，允许第一信号、第二信号和第三信号之中的仅第三信号从滤波器电路通过；以及串联谐振电路，与滤波器电路串联连接，并具有线圈以及与线圈串联连接的接地的可变电容器。
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