[发明专利]一种激光检测式四探针原子力显微镜有效
| 申请号： | 201910212150.1 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN109799367B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;裘晓辉;王帅 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种激光检测式四探针原子力显微镜。所述激光检测式四探针原子力显微镜包括两组第一激光组件、两组第二激光组件、两组第一探针组件、两组第二探针组件和光学组件，第一激光组件包括发射第一激光的第一激光器，第二激光组件包括发射第二激光的第二激光器，第一激光与第二激光的方向不同，光学组件能够使第一激光聚焦于第一探针，且能够使第二激光聚焦于第二探针。本发明采用四组探针组件，消除了接触电阻对被测样品本征电阻率的影响，且可以通过一次测量便可获得样品本征电学性质；每组探针组件可以选用不同功能的探针，实现对被测样品同一区域热、电等多物理场性质的同步表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 检测 探针 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种激光检测式四探针原子力显微镜，其特征在于，包括：第一激光组件(11)，其包括第一激光器(111)，所述第一激光器(111)用于发射第一激光(112)；第二激光组件(12)，其包括第二激光器(121)，所述第二激光器(121)用于发射第二激光(122)，所述第一激光(112)与所述第二激光(122)的方向不同；第一探针组件(13)，其包括第一探针，所述第一探针包括第一微悬臂(131)；第二探针组件(14)，其包括第二探针，所述第二探针包括第二微悬臂；光学组件(15)，所述光学组件(15)能够使所述第一激光(112)聚焦于所述第一微悬臂(131)上，且能够使所述第二激光(122)聚焦于所述第二微悬臂上；所述第一激光组件(11)、所述第二激光组件(12)、所述第一探针组件(13)和所述第二探针组件(14)的数量均为两组。
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