[发明专利]用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射数据映射的方法在审
| 申请号： | 201910212432.1 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110310877A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 乔恩·卡尔·韦斯;斯坦尼斯拉夫·彼得拉斯;博胡米拉·伦佐娃;格德·路德维希·本纳 | 申请（专利权）人： | 泰斯坎坦佩公司;泰斯坎布尔诺公司 |
| 主分类号： | H01J37/256 | 分类号： | H01J37/256;H01J37/28;H01J37/295;H01J37/22;H01J37/05;G01N23/2251;G01N23/20058 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射映射数据的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 透射电子显微镜 电子衍射 自动对准 旋进 扫描 数据映射 映射数据 | ||
【主权项】：
1.一种用于自动对准扫描透射电子显微镜(STEM)以便以高空间分辨率获取旋进电子衍射(PED)映射数据的方法，包括：生成与所述STEM的光轴对准并聚焦在采样区域上的入射电子束；以及通过在所述采样区域的多个离散位置扫描所述入射束，同时从至少一个电子探测器获取与每个位置相关的信号，从所述采样区域获取非倾斜信号空间分布；其特征在于：使所述入射电子束相对于所述光轴倾斜一固定倾斜角；通过在所述多个离散位置扫描倾斜入射束，同时将循环方位扫描协议应用于倾斜束，并且从所述至少一个电子探测器获取与每个位置相关的信号，从所述采样区域获取倾斜信号空间分布；以及通过比较非倾斜和倾斜信号空间分布来确定方位空间对准校正。
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