[发明专利]一种光纤光栅刻录装置

摘要

本发明公开一种光纤光栅刻录装置，设置三维步进电机移动模块带动光敏光纤在X轴、Y轴、Z轴方向上移动，可量化地控制光敏光纤与相位掩膜板之间的距离以及光敏光纤的曝光区域，设置摄像模块实时拍摄光敏光纤与相位掩膜板的距离，并反馈至PC机，用作调整光敏光纤与相位掩膜板之间的距离以及光敏光纤的曝光区域的数据基础，设置光栅尺位移检测模块获取光敏光纤与相位掩膜板的相对位移，用作辅助数据来调整光敏光纤与相位掩膜板之间的距离以及光敏光纤的曝光区域，通过上述三个模块的设置，提高光纤光栅刻录质量。

主权项

1.一种光纤光栅刻录装置，包括光敏光纤、相位掩膜板以及紫外光源，所述紫外光源产生的紫外光通过所述相位掩膜板形成衍射条纹，曝光所述光敏光纤，其特征在于：还包括PC机、控制模块、三维步进电机移动模块、光纤夹持器、光栅尺位移检测模块以及摄像模块；所述PC机向控制模块发送指令，所述控制模块根据所述指令驱动三维步进电机移动模块带动所述光纤夹持器发生移动；所述三维步进电机移动模块包括X轴驱动器、X轴电机、Y轴驱动器、Y轴电机、Z轴驱动器和Z轴电机，所述X轴驱动器驱动X轴电机带动光纤夹持器在X轴移动，所述Y轴驱动器驱动Y轴电机带动光纤夹持器在Y轴移动，所述Z轴驱动器驱动Z轴电机带动光纤夹持器在Z轴移动；所述光敏光纤由光纤夹持器夹持，所述光敏光纤随着光纤夹持器的移动而移动；所述光栅尺位移传感器检测所述光敏光纤与所述相位掩膜板的相对位移，并将检测结果输入至控制模块；所述摄像模块实时拍摄所述光敏光纤与所述相位掩膜板的位置图像，并将图像输入至PC机；所述PC机根据所述光敏光纤移动前后的图像，分别进行双线性插值，得到两个特征值，将所述两个特征值求差，获取所述光敏光纤相对所述相位掩膜板的距离。