[发明专利]一种多周期结构的二硼化钛基涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于表面防护技术领域，公开了一种多周期结构的TiB2基涂层及其制备方法。所述二硼化钛基涂层是以TiB2靶和金属靶为原料，采用磁控溅射镀膜，在基体上溅射沉积形成；二硼化钛基涂层为TiB2层与单质金属层相互叠加的多周期结构，相邻的TiB2层和单质金属层为一个大周期，同时，TiB2层和单质金属层的内部分别存在周期结构，TiB2层内部的周期是由富TiB2层与贫TiB2层交替叠加构成，单质金属层内部的周期是由富金属层与贫金属层交替叠加构成。该涂层在降低残余应力的同时，也综合了单层TiB2高硬度和高强度以及抗高温氧化能力强、结合力好的特点，用于机械零部件、刀模具等产品表面的防护。

主权项

1.一种多周期结构的二硼化钛基涂层，其特征在于，所述二硼化钛基涂层是以TiB₂靶和金属靶为原料，采用磁控溅射镀膜，在真空室中通过同时开启多靶磁控溅射及在工件转架上的拨片在转动过程中按60～120°角度拨动样品，最终在基体上溅射沉积形成；所述二硼化钛基涂层为TiB₂层与单质金属层相互叠加的多周期结构，相邻的TiB₂层和单质金属层为一个大周期T₁，同时，TiB₂层和单质金属层的内部分别存在周期结构，TiB₂层内部的周期是由富TiB₂层与贫TiB₂层交替叠加构成，单质金属层内部的周期是由富金属层与贫金属层交替叠加构成。