[发明专利]一种适用于光学自由曲面面型检测的光路结构

摘要

本发明涉及一种适用于光学自由曲面面型检测的光路结构，包括激光器、反射镜、针孔滤波器3、汇聚透镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、待检测光学自由曲面、物镜、光电探测器和二维移动平台，待检测光学自由曲面置于二维移动平台上，经过反射镜的反射的激光器出射光线经过针孔滤波器滤波后由汇聚透镜对光线进行汇聚，汇聚后的光线经过偏振分光棱镜后改变光线的方向和能量；反射的光线经过四分之一波片改变光线的相位后照射到光学旋转抛物面基准件，经由光学旋转抛物面基准件反射的光线依次透过偏振分光棱镜和物镜后被光电探测器接收；根据光电探测器上的光斑位置信息即得到待测自由曲面的面型信息。本发明具有测量速度快的特点。

主权项

1.一种适用于光学自由曲面面型检测的光路结构，包括激光器、反射镜、针孔滤波器3、汇聚透镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、待检测光学自由曲面、物镜、光电探测器和二维移动平台，待检测光学自由曲面置于二维移动平台上，二维移动平台能够在水平面上的两个正交方向进行移动，其特征在于：经过反射镜的反射的激光器出射光线经过针孔滤波器滤波后由汇聚透镜对光线进行汇聚，汇聚后的光线经过偏振分光棱镜后改变光线的方向和能量；反射的光线经过四分之一波片改变光线的相位后照射到光学旋转抛物面基准件，经由光学旋转抛物面基准件反射的光线依次透过偏振分光棱镜和物镜后被光电探测器接收；物镜成像于光电探测器上，根据光电探测器上的光斑位置信息即得到待测自由曲面的面型信息。