[发明专利]一种用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂及图案化方法在审
| 申请号： | 201910216871.X | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN109765763A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张国平;黄超;孙蓉;李金辉 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂及图案化方法，包括至少两种溶剂组成的混合溶液，所述溶剂中包括至少一种非质子极性溶剂，混合溶液中的极性组分溶解度参数不小于7；本发明提供的用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂，相比于传统的显影剂，得到聚酰亚胺图案的时间更短，形成的聚酰亚胺图案具有图案尺寸波动小的优点，显影后没有残留物，并且显影区和非显影区之间的溶解速度差异很大，足以给出高分辨率的图案，是一种性能优良的显影剂。 | ||
| 搜索关键词： | 显影剂 感光性聚酰亚胺 前体 聚酰亚胺图案 图案化 显影区 非质子极性溶剂 图案 混合溶液中 溶解度参数 尺寸波动 高分辨率 混合溶液 溶剂组成 速度差异 传统的 溶剂 显影 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂，其特征在于，包括至少两种溶剂组成的混合溶液，所述溶剂中包括至少一种非质子极性溶剂，混合溶液中的极性组分溶解度参数不小于7。
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