[发明专利]光学旋转抛物面基准件阵列中心距离的标定装置在审
申请号: | 201910217091.7 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN109974579A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 李杏华;吕泽奎;张明崴;李越馨;肖璇;敬磊;王瑞 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/26;G01M11/00 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 程毓英 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种光学旋转抛物面基准件阵列中心距离的标定装置,包括光学旋转抛物面基准件阵列、角度传感器、三坐标测量机,光学旋转抛物面基准件阵列置于三坐标测量机工作台上,包括阵列基座和布设在基座上的多个光学旋转抛物面基准件,角度传感器用以测量光学旋转抛物面基准件上的点的角度信息,包括激光器、反射镜、针孔滤波器、汇聚透镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、物镜和光电探测器。本发明可以消除光学旋转抛物面基准件安装时带来的位置误差。 | ||
搜索关键词: | 旋转抛物面 基准件 三坐标测量机 角度传感器 标定装置 阵列中心 偏振分光棱镜 四分之一波片 光电探测器 针孔滤波器 测量光学 汇聚透镜 角度信息 位置误差 阵列基座 激光器 反射镜 物镜 | ||
【主权项】:
1.一种光学旋转抛物面基准件阵列中心距离的标定装置,包括光学旋转抛物面基准件阵列、角度传感器、三坐标测量机,光学旋转抛物面基准件阵列置于三坐标测量机工作台上,包括阵列基座和布设在基座上的多个光学旋转抛物面基准件,所述的角度传感器固定于测量机的运动主轴,阵列基座置于三坐标测量机的工作台上,其特征在于,所述的角度传感器用以测量光学旋转抛物面基准件上的点的角度信息,包括激光器、反射镜、针孔滤波器、汇聚透镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、物镜和光电探测器;经过反射镜的反射的激光器出射光线经过针孔滤波器滤波后由汇聚透镜对光线进行汇聚,汇聚后的光线经过偏振分光棱镜后改变光线的方向和能量;反射的光线经过四分之一波片改变光线的相位后照射到光学旋转抛物面基准件,经由光学旋转抛物面基准件反射的光线依次透过偏振分光棱镜和物镜后被光电探测器接收;所述光电探测器位于物镜的焦平面上。
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