[发明专利]一种防止湿法氧化时过度氧化的垂直腔面发射激光器的制作方法有效
| 申请号： | 201910217890.4 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN111725702B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李志虎;于军;邓桃;张新;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 潍坊华光光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 许德山 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市奎文区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种防止湿法氧化时过度氧化的垂直腔面发射激光器的制作方法，通过限制层孔道制作，在高温氧化时制作的限制层金属能够在很大程度上防止水蒸汽的过度氧化，本发明中通过限制层孔道制作可以比较有效的阻止过度氧化，在湿法氧化时只需要在原先测算平均氧化速率的基础上继续增加氧化时间，可以完全保证氧化的完成而又不会过度氧化，从而达到我们需要的孔径大小，实际上该种工艺将需要的氧化通道提前制作出来。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 湿法 氧化 过度 垂直 发射 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于潍坊华光光电子有限公司，未经潍坊华光光电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910217890.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
