[发明专利]一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法在审
| 申请号： | 201910218612.0 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN109980080A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈花玲;李卓远 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/37 | 分类号： | H01L41/37;H01L41/27;H01L41/335;H01L41/23 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，包括以下步骤：首先，利用流延制膜机将配好的液态硅橡胶溶液均匀地涂覆在PET薄膜上，形成膜；切割出多个作动器电极的形状，作为制作电极层时的掩膜版；将掩膜版紧密贴合在硅橡胶表面，然后将液态导电材料均匀地涂覆在掩膜板和硅橡胶膜的表面形成厚度确定的电极层；电极层制作好后将掩膜板揭下，并加热使其固化；然后再在电极层上面流延一层硅橡胶薄膜，重复上述步骤，得到一块包含多个堆栈式作动器的硅橡胶；用切刀切割得到多个堆栈式作动器完成堆栈式介电弹性体作动器的制作。本发明操作简单、可复现，电极层与作动层之间贴合性好，作动器工作性能稳定，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 作动器 电极层 堆栈式 介电弹性体 制作 掩膜板 掩膜版 涂覆 硅橡胶 工作性能稳定 液态导电材料 应用前景广阔 硅橡胶薄膜 硅橡胶表面 液态硅橡胶 表面形成 硅橡胶膜 厚度确定 紧密贴合 流延制膜 切刀切割 贴合性 作动层 电极 复现 固化 流延 加热 切割 重复 | ||
【主权项】：
1.一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，利用流延制膜机将液态硅橡胶溶液均匀地涂覆在PET薄膜上，形成一层硅橡胶膜，并加热使其固化，这一层材料为作动器的底层绝缘封装层；步骤2，用激光切割机在PET薄膜或者离型纸上切割出多个作动器电极的形状，以此作为制作电极层时的掩膜版；步骤3，将掩膜版紧密贴合在硅橡胶膜表面，然后利用流延制膜机将配置好的液态导电材料均匀地涂覆在掩膜板和硅橡胶膜的表面形成电极层，或者利用喷笔将液态导电材料均匀地喷涂在掩膜板和硅橡胶膜表面形成电极层；电极层制作好后将掩膜板揭下，并加热使揭下掩膜板后的部分固化；步骤4，然后再在电极层上面流延一层硅橡胶薄膜，以此形式重复叠加，得到一块包含多个堆栈式作动器的硅橡胶，最后流延的一层硅橡胶薄膜为作动器顶层绝缘封装层；步骤5，用切刀沿电极边缘切割得到多个作动器；给正负极引电极导线并用导电胶水粘牢，完成堆栈式介电弹性体作动器的制作。
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