[发明专利]一种改进的用于太阳电池硅片处理的槽式臭氧处理系统

摘要

本发明提出一种改进的用于太阳电池硅片处理的槽式臭氧处理系统，其包括槽体，盖板，由一级风槽、二级风槽、三级风槽构成的臭氧喷淋板，盖板与喷淋板固定成一体结构；置于槽体内部的硅片载片花篮；设置于载片花篮下方的抽气系统，所述的抽气系统包括一级抽风匀流板、二级抽风匀流板、漏斗形底板，所述漏斗形底板的两侧设置有抽气口，漏斗形底板的中部设有硅片碎片出口，其下设置有硅片碎片收集盒；所述槽体的两侧内壁设有多个感测顶部进气与底部排气压力的压力传感器。本发明的槽式臭氧处理系统，可广泛集成在目前的太阳电池产线的槽式清洗机中，达到更好的抗PID效果，且不用增加独立的抗PID机台，大幅度降低人力成本与生产成本。

主权项

1.一种改进的用于太阳电池硅片处理的槽式臭氧处理系统，其特征在于，所述的槽式臭氧处理系统包括槽体，盖板，由一级风槽、二级风槽、三级风槽构成的臭氧喷淋板，所述的盖板与喷淋板固定成一体结构；置于槽体内部的硅片载片花篮，载片花篮搁置在槽体内的固定柱上；设置于载片花篮下方的抽气系统，所述的抽气系统包括一级抽风匀流板、二级抽风匀流板、漏斗形底板，所述漏斗形底板的两侧设置有抽气口，漏斗形底板的中部设有硅片碎片出口，其下设置有硅片碎片收集盒；所述槽体的两侧内壁设有多个感测顶部进气与底部排气压力的压力传感器。