[发明专利]一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法有效
| 申请号： | 201910220568.7 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN109814203B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 阎文博;高开放;张雄;梁超;昝知韬;任满意;李菲菲;高作轩;陈洪建 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;B05D1/00;B05D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300401 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法。包括：S1：以铌酸锂为衬底，利用溶胶凝胶法和旋涂技术在铌酸锂衬底上制备二氧化钛溶胶薄膜；S2：通过激光直写技术使二氧化钛溶胶薄膜固化结晶，用丙酮去除非晶化部分，得到图形化的多晶薄膜；S3：最后通过高温扩散工艺制备铌酸锂光波导。本发明利用激光直写技术与溶胶凝胶法的结合，使图形化薄膜的制备更加灵活、方便；同时激光直写晶化装置配有长波长观测光路，可以在激光晶化过程中做到实时观测及调整；而且这种将多种技术结合的方法，在铌酸锂光波导功能器件集成领域具有巨大的潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 直写晶化二 氧化 溶胶 薄膜 制备 铌酸锂光 波导 方法 | ||
【主权项】：
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