[发明专利]一种用于硅片抛光的纳米氧化铈的制备方法在审
| 申请号： | 201910221796.6 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN109734121A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 韦家谋;田震;罗冷 | 申请（专利权）人： | 韦家谋 |
| 主分类号： | C01F17/00 | 分类号： | C01F17/00;C09G1/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 410082 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用于硅片抛光的纳米氧化铈的制备方法，包括以下步骤：a、将一定量的硅酸盐加水搅拌溶解，再将不溶解的铈盐加到硅酸盐与水的溶液中，再经过球磨，得到均匀分散好的浆料；b、将步骤a所得的浆料采用闪蒸的方式进行干燥，得到干燥的、均匀的、细致的粉料；c、将步骤b所得的粉料进行煅烧，即成。本发明具有工艺简单，对设备要求不高，产生易于吸收处理的尾气，生产成本低，粒径在100‑120nm、粒径分布窄、易于分散等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米氧化铈 硅片抛光 粉料 浆料 制备 硅酸盐 硅酸盐加水 生产成本低 搅拌溶解 粒径分布 吸收处理 对设备 粒径 球磨 闪蒸 煅烧 铈盐 尾气 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅片抛光的纳米氧化铈的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、将一定量的硅酸盐加水搅拌溶解，再将不溶解的铈盐加到硅酸盐与水的溶液中，经过球磨，得到均匀分散好的浆料；b、将步骤a所得的浆料采用闪蒸的方式进行干燥，得到干燥的、均匀的、细致的粉料；c、将步骤 b所得的粉料进行煅烧，即成。
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