[发明专利]流体供应装置及其组装方法和利用该流体供应装置的基板处理系统有效
| 申请号： | 201910222533.7 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110355020B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B13/04 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黄谦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种流体供应装置及其组装方法和利用该流体供应装置的基板处理系统，防止通过流体供应块供应到喷射管的流体从流体供应块和喷射管结合的间隙流出。上述流体供应装置及其组装方法和利用该流体供应装置的基板处理系统包括：中空的喷射管，其外周面形成有流入流体的流体流入孔，且设置有喷嘴，喷嘴喷射从流体流入孔流入的流体；流体供应块，配置为可使喷射管旋转，并配置为围绕喷射管的形成有流体流入孔的区域，且从外部供应流体；以及密封构件，配置在流体供应块和喷射管之间，使得通过供应到流体供应块的内部的流体的静水压来防止装填在流体供应块内部的流体流出到外部。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 供应 装置 及其 组装 方法 利用 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种流体供应装置，其特征在于，包括：中空的喷射管，在外周面形成有流入流体的流体流入孔，且设置有喷嘴，所述喷嘴喷射从所述流体流入孔流入的流体；流体供应块，配置为可使所述喷射管旋转，并配置为围绕喷射管的形成有所述流体流入孔的区域，且从外部供应流体；以及密封构件，配置在所述流体供应块和所述喷射管之间，使得通过供应到所述流体供应块的内部的流体的静水压来防止装填在所述流体供应块内部的流体流出到外部。
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