[发明专利]多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法

摘要

本发明提供一种多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法，工件台具有多个设置柔性卷带的工位，对曝光区上的柔性卷带曝光时同步对测量区上的柔性卷带进行对位测量和/或焦面测量，完成曝光的柔性卷带自曝光区传出的同时将完成对位测量和/或焦面测量的柔性卷带从测量区传送至曝光区，在传送的过程中控制单元控制光罩调整单元对光罩进行调整，并在后一个柔性卷带到达曝光区后控制曝光单元对后一个柔性卷带进行曝光。本发明采用多工位并行的模式，测量区上的柔性卷带的对位测量和/或焦面测量与曝光区上的柔性卷带的曝光同步进行，在工位切换的过程中，完成对光罩的调整，多工位同时对柔性卷带进行处理，减少曝光工序的耗时，有利于提高产能。

主权项

1.一种多工位柔性卷带曝光装置，其特征在于，包括：照明单元，出射光束；掩模台，用于承载光罩；物镜单元，用于对柔性卷带进行曝光，所述光束经过所述光罩和所述物镜单元后照射至所述柔性卷带上进行曝光；工件台，具有多个用于承载所述承载柔性卷带的工位；测量单元，用于对所述工件台上承载的柔性卷带进行对位测量和/或焦面测量；传送单元，用于向所述工件台传送所述柔性卷带；所述物镜单元下方为曝光区；所述测量单元下方为测量区，对位于所述曝光区的柔性卷带曝光时，同步对位于所述测量区的柔性卷带测量；通过所述测量单元的测量结果使所述曝光区的柔性卷带在所述物镜单元的焦深度范围内和/或实现曝光对准。