[发明专利]一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置在审
| 申请号： | 201910224214.X | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN109917407A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 王化斌;郭缘森;李早霞;耿国帅;杨忠波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01S17/08 | 分类号： | G01S17/08 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置，属于太赫兹显微成像领域。该方法基于近场探针测距装置实现，该测距装置包括激光器，可见光源，可见光显微镜，光电导微探针，样品，样品位移台，电机控制盒以及计算机。所述方法具体包括：S1：将样品放置在样品位移台上；S2：可见光照射在光电导微探针针尖上，通过可见光显微镜结合CCD探测器实时获取针尖附近的场景，并传输到计算机进行图像处理及特征提取，得到光电导微探针‑样品在图像尺度上的间距S；S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到光电导微探针‑样品的实际距离d。本发明用于准确测量光电导微探针与样品间距和自动调节其间距。 | ||
| 搜索关键词： | 光电导 微探针 近场 探针 测距 可见光显微镜 测距装置 激光反射 图像尺度 针尖 电机控制盒 可见光照射 样品位移台 可见光源 实际距离 实时获取 特征提取 图像处理 显微成像 样品放置 准确测量 激光器 计算机 场景 传输 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光反射的近场探针测距方法，其特征在于，该测距方法具体包括以下步骤：S1：将样品放置在样品位移台(8)上；S2：打开可见光源(4)，发出可见光照射在光电导微探针(5)针尖上，通过可见光显微镜(3)结合CCD探测器(2)实时获取针尖附近的场景，并传输到计算机(1)进行图像处理及特征提取，得到光电导微探针‑样品在图像尺度上的间距S；S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到光电导微探针‑样品的实际距离d。
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