[发明专利]一种针对空气静压主轴内部气体流速的检测系统在审
申请号: | 201910224818.4 | 申请日: | 2019-03-24 |
公开(公告)号: | CN109946478A | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 陈东菊;李天宝;李源;张世伟;李万岭 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | G01P5/22 | 分类号: | G01P5/22 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 沈波 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种针对空气静压主轴内部气体流速变化的检测系统,该系统包括1个空气静压主轴系统、1个荧光显微镜、2个CCD相机、1个激光发射器、1个信号控制器和1台PC机;所述的荧光显微镜固定在空气静压主轴的轴套上,荧光粒子充满着主轴的整个气腔,激光发生器的光束透过荧光显微镜,荧光显微镜一端观测着气膜间隙内区域,另一端与CCD相机固定在一起,CCD相机的输出端与PC机相连,PC机再将信号输出给同步控制器,同步控制器再反馈给CCD相机和激光发生器,实现对CCD相机与激光发生器的控制。 | ||
搜索关键词: | 空气静压主轴 荧光显微镜 激光发生器 同步控制器 检测系统 内部气体 激光发射器 信号控制器 光束透过 流速变化 气膜间隙 信号输出 荧光粒子 内区域 输出端 气腔 轴套 观测 反馈 | ||
【主权项】:
1.一种针对空气静压主轴内部气体流速的检测系统,其特征在于:该系统包括1个空气静压主轴系统、1个荧光显微镜、2个CCD相机、1个激光发射器、1个信号控制器和1台PC机;所述的荧光显微镜固定在空气静压主轴的轴套上,荧光粒子充满着空气静压主轴的整个空气静压主轴系统的气腔,激光发生器的光束透过荧光显微镜,荧光显微镜一端观测着气膜间隙内区域,另一端与一个CCD相机固定在一起,另一个CCD相机的输出端与PC机相连,PC机再将信号输出给同步控制器,同步控制器再反馈给CCD相机和激光发生器,实现对CCD相机与激光发生器的控制。
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