[发明专利]一种废蚀刻混酸溶液的废物利用方法

摘要

本发明公开了一种废蚀刻混酸溶液的废物利用方法，本发明具体包括以下步骤：S1、废液均质，S2、蒸馏，S3、合成，S4、除杂，S5、离心脱水，S6、包装，本发明涉及半导体生产废物回收技术领域。该废蚀刻混酸溶液的废物利用方法，可实现通过吸附预处理其中微量重金属，再减压蒸馏再生磷酸，同时合成醋酸钠和其他产品，解决现有废物回收不彻底和利用率较低的问题，可很好的完成对废蚀刻液的回收利用，实现对回收利用工艺的改进，来对废蚀刻混酸中的废酸和重金属进行充分的回收和利用，达到对废蚀刻酸液进行废物回收利用，来避免资源浪费和环境污染的目的，大大提升了废物的回收利用率，从而对半导体生成企业的废物处理十分有益。

主权项

1.一种废蚀刻混酸溶液的废物利用方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1、废液均质：首先将醋酸、磷酸和硝酸混酸在运抵车间后接入废液集中储槽，可均匀水质；S2、蒸馏：首先开启搅拌机和真空装置，检查温度、压力和监控设施运行正常后，混酸经液位控制系统定量提升至蒸发釜，开启蒸汽阀门，开始加热，先加热至70‑80℃，将混酸中微量的硝酸蒸发并经真空抽离进入二级碱液吸收装置吸收，然后继续升温至90℃左右，开始蒸发醋酸，醋酸经冷凝后进入醋酸产品罐中暂存待用，待醋酸分离结束后，利用冷却循环水对物料进行降温，降温后得到磷酸中间产品，磷酸中间产品进入磷酸中间产品罐中待用；S3、合成：在S2中蒸发分离出的一部分醋酸在合成釜中由pH控制加入碱溶液进行中和合成，完成后加热浓缩后冷结晶，而另一部分经调配后成为醋酸产品；S4、除杂：在S2中产出的磷酸中间产品采用离子树脂去除其中重金属，树脂中含有的氨基和羟基活性基团可以与重金属离子进行螯合、交换反应，从而去除酸液中重金属离子，经除去杂质，达到工业磷酸产品要求后进入产品罐待包装；S5、离心脱水：在S3中结晶及冷却的晶浆从合成釜中进入离心机中离心脱水；S6、包装：离心的产品人工在离心机出料口接料称重后封口打包，磷酸产品按照市场需求进行包装。