[发明专利]一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2

摘要

本发明属于一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2的装置及生产方法；包括原料气储罐、热泵和产品罐，所述原料气储罐依次通过净化塔和吸附塔与第一精馏塔的原料气进口相连，第一精馏塔顶部的气相出口通过干燥塔与第二精馏塔的原料气进口，第二精馏塔的底部液相出口通过产品泵与产品储罐相连；第一精馏塔底部的液相出口通过换热器的第一尾气进口、换热器的第一尾气出口和第一调节阀与废气炉相连；具有低能耗、操作简便、运行稳定、运行安全可靠、产品单位电耗低、能将产品中水分降低至30ppb以下、且纯度提高至99.99995％电子级别的优点。

主权项

1.一种生产含水量≤30ppb的电子级CO₂的装置，该装置包括原料气储罐(1)、热泵(12)和产品罐(10)，其特征在于：所述原料气储罐(1)依次通过净化塔(2)和吸附塔(3)与第一精馏塔(4)的原料气进口(27)相连，第一精馏塔(4)顶部的气相出口(28)通过干燥塔(5)与第二精馏塔(6)的原料气进口(31)，第二精馏塔(6)的底部液相出口(32)通过产品泵(9)与产品储罐(10)相连；第一精馏塔(4)底部的液相出口(36)通过换热器(7)的第一尾气进口(37)、换热器(7)的第一尾气出口(35)和第一调节阀(17)与废气炉(11)相连；第二精馏塔(6)的顶部气相出口(34)通过换热器(7)的第二尾气进口(33)和换热器(7)的第二尾气出口(30)与气液分离器(8)相连，气液分离器(8)的底部液相出口分别与第一精馏塔(4)的原料液进口(29)和第二精馏塔(6)的原料液进口(26)相连，气液分离器(8)的顶部气相出口通过换热器(7)的第二尾气进口(25)、换热器(7)的第二尾气出口(24)和第十七调节阀(17)与废气炉(11)相连；热泵(12)循环气出口分别通过管道与第一精馏塔(4)底部的第一再沸器(13)和第二精馏塔(6)底部的第二再沸器(14)的进口相连，第一再沸器(13)和第二再沸器(14)的出口分别通过第五调节阀(21)与换热器(7)的循环液进口(23)相连，换热器(7)的循环气出口(15)与热泵(12)与循环气进口相连。